スパッタリングで使うターゲットの説明として正しいものはどれか。

正解：A. 成膜したい材料でできた板で、イオンが衝突して原子がはじき出される

ターゲットは、Ti、Ta、Cu、Alなど成膜したい材料でできた板です。プラズマ中のイオンが衝突すると表面の原子がはじき出され、それがウエハに堆積して膜になります。膜の品質に直結するため、ターゲットにも高い純度と均一な組織が求められます。