酸化・拡散

ドライ酸化で厚さ数十nm以下の薄い酸化膜をつくるとき、Deal-Groveモデルからずれることとして知られているものはどれか。

  1. A初期の酸化がモデルの予測より速く進む
  2. B酸化がまったく進まない
  3. C酸化膜が導体になる
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正解：A. 初期の酸化がモデルの予測より速く進む

Deal-Groveモデルは厚い酸化膜の成長をよく表しますが、ドライ酸化で膜厚が数十nm以下の初期の領域では、実際の酸化がモデルの予測より速く進みます。そのため、薄いゲート酸化膜の厚さを予測するには、この初期の増速を考慮したモデルや実測が必要になります。

  • A. 正しい。初期の薄い領域ではモデルより速く酸化が進みます。
  • B. 酸化は進みます。
  • C. SiO2は絶縁体で、導体にはなりません。
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