酸化・拡散
シリコンのドライ熱酸化で起こる化学反応として正しいものはどれか。
- ASi + O2 → SiO2
- BSi + N2 → SiN
- CSiO2 + H2 → Si + H2O
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正解：A. Si + O2 → SiO2
ドライ酸化では、高温でシリコンと酸素が反応して二酸化シリコン(SiO2)ができます(Si + O2 → SiO2)。ウェット酸化では水蒸気を使い、Si + 2H2O → SiO2 + 2H2 の反応が起こります。
- A. 正しい。シリコンと酸素からSiO2ができます。
- B. 窒素との反応では酸化膜はできません。
- C. これは酸化膜を還元する逆向きの反応で、酸化ではありません。