ドライ酸化란?

どらいさんか

乾燥した酸素で行う熱酸化。成長は遅いが、緻密で良質な酸化膜ができ、ゲート酸化膜などに使われる。

일본어 명칭: ドライ酸化

분야: 산화와 확산