酸化・拡散 熱酸化の温度を上げると、同じ時間で得られる酸化膜の厚さはどうなるか。 A厚くなる B薄くなる C変わらない 答えと解説を見る 正解：A. 厚くなる 熱酸化の速度は、界面での反応速度も、酸化剤の酸化膜中での拡散も、温度が高いほど速くなります。そのため、温度を上げると同じ時間でより厚い酸化膜が得られます。厚い膜を短時間でつくりたい場合は、高温のウェット酸化が使われます。