クリーンルーム・製造装置

クリーンルームで、天井から床へ一方向に空気を流す(ダウンフロー)方式の主な目的はどれか。

  1. A発生した粒子をすばやく床下へ排出し、ウエハの周りに滞留させない
  2. B室温を上げる
  3. C室内の騒音を下げる
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正解：A. 発生した粒子をすばやく床下へ排出し、ウエハの周りに滞留させない

天井の高性能フィルタを通した清浄な空気を床に向けて一方向に流すと、人や装置から発生した粒子が舞い上がらずに床下へ運ばれます。こうして粒子がウエハの周りに滞留しないようにしています。

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