クリーンルーム・製造装置

ダウンフロー方式のクリーンルームで一般的な、天井からの吹き出し風速の目安はどれか。

  1. A約30 m/s
  2. B約0.3〜0.5 m/s
  3. C約0.001 m/s
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正解：B. 約0.3〜0.5 m/s

ダウンフロー方式のクリーンルームでは、天井から約0.3〜0.5 m/s程度のゆっくりとした一方向の気流を流します。速すぎると乱流が起きて粒子を巻き上げ、遅すぎると粒子を十分に運び去れないため、適切な風速に保たれています。

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