クリーンルーム・製造装置

ダウンフロー方式のクリーンルームで、床に穴のあいたパネル(グレーチング)を使う理由として正しいものはどれか。

  1. A床の滑り止めのため
  2. B床を軽くするため
  3. C天井から吹き出した空気を床下へ通して循環させるため
答えと解説を見る

正解:C. 天井から吹き出した空気を床下へ通して循環させるため

ダウンフロー方式では、天井のフィルタから吹き出した空気を、穴のあいた床から床下の空間へ吸い込み、側面の通路などを通って再び天井に戻して循環させます。空気が一方向に流れるため、発生した粒子がすぐに床下へ運ばれます。

この分野を解く 分野ページへ

クリーンルーム・製造装置のほかの問題

  1. 真空を使うプロセス装置で、反応で生成した有害な物質を含む排ガスを、装置ごとに処理する装置はどれか。
  2. 瞬時電圧低下(瞬低)や停電による、製造中のウエハの損失を防ぐために半導体工場で導入される設備はどれか。
  3. 旧米国連邦規格のクラス100(1立方フィートあたり0.5 µm以上の粒子が100個以下)に相当するISO 14644-1の清浄度クラスはどれか。
  4. ダウンフロー方式のクリーンルームで一般的な、天井からの吹き出し風速の目安はどれか。
  5. ベイ・チェイス方式のクリーンルームで、装置の裏側の保守用の空間(チェイス)の清浄度の扱いとして一般的なものはどれか。