エッチング

原子層エッチング(ALE)の特徴として正しいものはどれか。

  1. A1回の処理で数µmを高速にエッチングする
  2. B表面の改質と除去を交互に繰り返し、原子層レベルでエッチング量を制御する
  3. C薬液を使った等方的なウェットエッチングである
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正解：B. 表面の改質と除去を交互に繰り返し、原子層レベルでエッチング量を制御する

ALEは、まず表面の1層だけを反応させて改質し、次にその層だけを取り除く、という自己制限的な工程を繰り返します。1サイクルで削れる量が一定なため、原子層レベルで精密に制御でき、表面へのダメージも小さくなります。ALDのエッチング版といえる技術です。

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