EUVマスクで、吸収体のパターンの厚さが波長に比べて無視できず、斜めに入射する光が影をつくるなどして像に影響する現象を何と呼ぶか。

正解：B. マスク3D効果

EUVマスクは反射型で、光が約6°傾いて入射します。吸収体の厚さが数十nmと波長13.5 nmより厚いため、吸収体の側面が影をつくったり、位相が変わったりして、パターンの向きによって寸法や位置がずれます。これをマスク3D効果といい、薄い吸収体の材料の開発やOPCでの補正が行われています。

• A. ブルーミングはイメージセンサで電荷があふれる現象です。
• B. 正しい。マスクの立体的な構造による影響です。
• C. ローディング効果は、加工面積で処理速度が変わる現象です。