スピンコートでレジストを塗った後、ウエハの外周部に盛り上がったレジストを溶剤で取り除く処理を何と呼ぶか。

正解：B. エッジビードリムーバル

スピンコートでは、ウエハの外周に表面張力でレジストが厚く盛り上がります(エッジビード)。これが残ると、搬送時にはがれてパーティクルになったり、装置を汚したりするため、外周に溶剤を当てて取り除きます。

• A. アッシングはレジスト全体をプラズマなどで除去する処理です。
• B. 正しい。外周の盛り上がったレジストを除去する処理です。
• C. ポストエクスポージャーベークは露光後に行う加熱処理です。