EUV露光で問題になる「フレア」の主な原因として正しいものはどれか。

正解：A. ミラー表面のわずかな凹凸によって光が散乱し、本来暗い部分にも光が届くこと

EUVは波長が非常に短いため、ミラーの表面に原子レベルのわずかな凹凸があっても光が散乱します。散乱した光は本来暗くあるべき部分にも広く届き、像のコントラストを下げて寸法のばらつきの原因になります。これをフレアといい、パターンの密度に応じた補正などで対処します。

• A. 正しい。ミラーの表面粗さによる散乱光が原因です。
• B. レジストが燃えることではありません。
• C. ウエハの回転は関係ありません。