設計したレイアウトのうち、露光や加工のシミュレーションでパターンがつながったり切れたりしやすいと予測される弱い箇所を何と呼ぶか。

正解：A. ホットスポット

ホットスポットは、レイアウトの中で、露光量やフォーカスの変動に対してパターンが短絡したり断線したりしやすい箇所です。リソグラフィのシミュレーションやパターンの照合によって事前に見つけ、レイアウトの修正やOPCの調整で対処します。

• A. 正しい。不良になりやすい弱い箇所です。
• B. ノッチはウエハの外周の切り欠きです。
• C. ダイシングラインはチップを切り分ける線です。