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현재의 스캐너형 노광 장비에서 1회 노광(1샷)으로 웨이퍼 위에 노광할 수 있는 최대 영역의 크기로 일반적인 것은?
- A웨이퍼 전면(지름 300 mm)
- B약 1 mm × 1 mm
- C약 26 mm × 33 mm
정답과 해설 보기
정답: C. 약 26 mm × 33 mm
일반적인 스캐너에서는 웨이퍼 위 약 26 mm × 33 mm(약 858 mm²) 영역을 1샷으로 노광하고, 웨이퍼를 이동시키며 반복하여 전면을 노광합니다. 이 크기가 칩의 최대 크기의 기준(레티클 리미트)이 되며, 대형 GPU 등은 거의 이 상한까지 사용합니다. 이를 넘는 크기가 필요하면 여러 칩을 연결하는 칩렛이나 패키지 상에서의 접속이 사용됩니다. High-NA EUV에서는 이것의 절반입니다.
- A. 웨이퍼 전면을 한 번에 노광하는 것은 아닙니다.
- B. 약 1 mm 사방은 너무 작습니다.
- C. 올바릅니다. 약 26 mm × 33 mm가 일반적입니다.