Welk apparaat in een cleanroom levert ionen aan de lucht om de elektrostatische lading van wafers en apparatuur te neutraliseren?

Antwoord: B. Ionisator (ontladingsapparaat)

In een droge cleanroom ontstaat gemakkelijk statische elektriciteit, en geladen wafers en maskers trekken deeltjes aan of beschadigen devices en maskerpatronen door elektrostatische ontlading. Een ionisator maakt met bijvoorbeeld corona-ontlading positieve en negatieve ionen en voert die aan de lucht toe om de lading van voorwerpen te neutraliseren. Dit is vooral effectief voor isolatoren die niet kunnen worden geaard. Een ULPA-filter dient voor het verwijderen van deeltjes en een scrubber voor het wassen van afgassen.