Was ist ULPA-Filter?
Hochleistungs-Luftfilter, der noch feinere Partikel als ein HEPA-Filter abscheidet. Er wird in den Decken von Reinräumen mit hoher Reinheit eingesetzt.
Japanische Bezeichnung: ULPAフィルタ
Fachgebiet: Reinräume und Anlagen
Verwandte Begriffe
EFEM (Equipment Front End Module) FFU (Ventilator-Filter-Einheit) FOUP HEPA-Filter ISO 14644-1 Mini-Environment (Minienvironment) Molekulare Kontamination in der Luft (AMC) OHT (Deckentransportsystem) Vertikalströmung (downflow)