Cleanroom en productieapparatuur

Welke algemene definitie van de prestaties van een HEPA-filter is juist?

  1. AHet vangt 99,97% of meer van de deeltjes van 0,3 µm op
  2. BHet vangt 50% of meer van de deeltjes van 10 µm op
  3. CHet verwijdert 99,99% of meer van de gasvormige moleculen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Het vangt 99,97% of meer van de deeltjes van 0,3 µm op

Een HEPA-filter wordt gedefinieerd als een filter met een opvangrendement van 99,97% of meer voor deeltjes van circa 0,3 µm, dicht bij de deeltjesgrootte die het moeilijkst te filteren is (JIS enz.). Grotere deeltjes worden door traagheid en kleinere door diffusie ten gevolge van Brownse beweging gemakkelijk door de vezels opgevangen, zodat de deeltjes van gemiddelde grootte het gemakkelijkst doorlaten. Het nog hoogwaardiger ULPA-filter zou 99,9995% of meer bij 0,15 µm halen. Geen van beide verwijdert gassen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Waarom worden in belichtingsgebieden die chemisch versterkte resist gebruiken basische moleculaire verontreinigingen zoals ammoniak en aminen bijzonder streng beheerst?
  2. Wat is de belangrijkste reden dat het binnenoppervlak van roestvrijstalen leidingen voor hoogzuivere gassen in een halfgeleiderfabriek elektrolytisch wordt gepolijst (EP)?
  3. Welke uitspraak over de rol van de dikke betonnen vloer met rasterpatroon van gaten (waffle slab) voor de vloer van een halfgeleider-cleanroom is juist?
  4. Welke maat, in precisiefaciliteiten zoals halfgeleiderfabrieken, geeft het toelaatbare trillingsniveau van de vloer per frequentie in trappen weer als trillingssnelheid?
  5. Welke omgevingsfactor vereist naast trillingen bijzondere aandacht bij het opstellen van elektronenstraalschrijvers of elektronenmicroscopen?