Micro-elektromechanische systemen. Componenten waarin met microfabricagetechnieken voor halfgeleiders kleine mechanische structuren en elektronische schakelingen zijn gecombineerd.
Japanse benaming: MEMS
“MEMS” komt voor in 45 oefenvragen uit 9 onderwerpen, bijv. MEMS en sensoren, Etsen, Packaging en montage.
Vakgebied: MEMS en sensoren
Antwoord: A. Een component waarin met halfgeleider-microfabricage kleine mechanische structuren en elektronische schakelingen zijn gecombineerd
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) zijn componenten waarin met halfgeleiderprocessen zoals laagafzetting, lithografie en etsen kleine mechanische structuren met bewegende delen, zoals veren, massa's, membranen en spiegels, worden gemaakt en als sensor of actuator worden gebruikt. Omdat ze per wafer in grote aantallen tegelijk kunnen worden gemaakt, zijn ze klein en goedkoop; één smartphone bevat meerdere MEMS, zoals voor versnelling, gyroscoop, luchtdruk en microfoon.
Antwoord: B. Verandering van de capaciteit tussen elektroden door de verplaatsing van het bewegende deel (de massa)
Wanneer een versnelling optreedt, beweegt de aan veren opgehangen massa door traagheid en verandert de afstand tot de kamvormige vaste elektroden. De verandering van de capaciteit wordt met een schakeling gedetecteerd om de versnelling te bepalen. De verplaatsing is hooguit enkele nm en de capacitieve verandering hooguit enkele fF (10⁻¹⁵ F), maar deze wordt met een differentiële elektrodeopbouw en een gevoelige schakeling uitgelezen. Vanwege de eenvoudige opbouw, het lage vermogen en de geringe temperatuurgevoeligheid wordt dit type veel in smartphones toegepast.
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) zijn componenten waarin met halfgeleiderprocessen zoals laagafzetting, lithografie en etsen kleine mechanische structuren met bewegende delen, zoals veren, massa's, membranen en spiegels, worden gemaakt en als sensor of actuator worden gebruikt.
Welke uitspraak over MEMS is juist?Een MEMS-gyroscoop laat de massa resoneren op enkele kHz tot enkele tientallen kHz en detecteert de kleine verplaatsing die door rotatie in de loodrechte richting ontstaat, bijvoorbeeld capacitief, om de hoeksnelheid te bepalen.
Welke kracht gebruikt een trillende MEMS-gyroscoop om de ho…Het proces is in de jaren negentig door het Duitse Bosch ontwikkeld en wordt gebruikt voor MEMS en TSV's.
Welke uitspraak over Deep RIE (Bosch-proces), gebruikt bij …Een gangbare MEMS-microfoon vormt een condensator met een dun membraan (diafragma) van ongeveer 1 µm dik dat door geluidsdruk trilt en een geperforeerde vaste elektrode (backplate); de capaciteitsverandering door de trilling van het membraan wordt door een ASIC in dezelfde behuizing in een elektrisch signaal omgezet.
Wat is de gangbare methode waarmee een MEMS-microfoon gelui…Duizenden spuitmondjes met een diameter van enkele tientallen µm en de kanalen worden met MEMS-technologie gemaakt en stoten druppels van enkele pL uit.
Welke is de gangbare methode om inkt uit te stoten bij een …Versnellingssensor Gyroscoop Stiction Contact Corioliskracht Boschproces (Deep RIE) Plasma Via Isotroop etsen Numerieke apertuur (NA)