Was ist MEMS (mikroelektromechanische Systeme)?

Micro-Electro-Mechanical Systems. Bauelemente, die mithilfe der Halbleiter-Mikrofertigung winzige mechanische Strukturen und elektronische Schaltungen integrieren.

Japanische Bezeichnung: MEMS

Fachgebiet: MEMS und Sensoren

Verwandte Begriffe

Anodisches Bonden Beschleunigungssensor Bosch-Prozess (Deep RIE) Coriolis-Kraft Drehratensensor (Gyroskop) Hall-Sensor Kapazitive Detektion Opferschichtätzen Piezoresistiver Effekt Stiction (Haftreibung in MEMS)

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