Model dat de thermische oxidatie van silicium beschrijft als een proces waarbij het oxidatiemiddel door de oxidelaag diffundeert en aan het Si/SiO2-grensvlak met silicium reageert. Bij dunne lagen is de laagdikte evenredig met de tijd, bij dikke lagen met de wortel van de tijd.
Japanse benaming: Deal-Groveモデル
“Deal-Grove-model” komt voor in 4 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Oxidatie en diffusie.
Vakgebied: Oxidatie en diffusie
Antwoord: C. Het oxidatiemiddel diffundeert door de oxidefilm en reageert aan het Si/SiO2-grensvlak met silicium
In het Deal-Grove-model (1965) wordt het oxidatiemiddel uit de gasfase in het oppervlak van de oxidefilm opgenomen, diffundeert door de film en reageert aan het grensvlak met silicium, waarbij nieuwe oxidefilm ontstaat. De oxidefilm groeit dus aan de grensvlakzijde en het grensvlak is steeds een nieuw oppervlak. Naarmate de film dikker wordt, wordt de diffusieafstand langer en gaat de groei trager. Door de fluxen van deze drie stappen gelijk te stellen, worden de lineaire en de parabolische wet in één formule uitgedrukt.
Antwoord: B. De dikte is ongeveer evenredig met de tijd (neemt lineair toe)
Zolang de oxidefilm dun is, passeert het oxidatiemiddel de film gemakkelijk en wordt de snelheid van de reactie aan het grensvlak bepalend, zodat de dikte ongeveer evenredig met de tijd toeneemt (lineaire wet, snelheidsconstante B/A). Wanneer de film dikker wordt, wordt diffusie van het oxidatiemiddel in de film bepalend en wordt de dikte evenredig met de wortel van de tijd (parabolische wet, snelheidsconstante B). De overgang ligt bij een dikte van ongeveer A/2, bij droge oxidatie bij enkele tientallen nm tot ongeveer 100 nm.
In het Deal-Grove-model (1965) wordt het oxidatiemiddel uit de gasfase in het oppervlak van de oxidefilm opgenomen, diffundeert door de film en reageert aan het grensvlak met silicium, waarbij nieuwe oxidefilm ontstaat.
Waar vindt volgens het Deal-Grove-model thermische oxidatie…Het Deal-Grove-model beschrijft de groei van dikke oxidefilms goed, maar bij droge oxidatie verloopt de feitelijke oxidatie in het beginstadium, bij een dikte van enkele tientallen nm of minder, sneller dan het model voorspelt.
Welke afwijking van het Deal-Grove-model is bekend bij het …In het Deal-Grove-model geldt x² + Ax = B(t + τ).
Welke relatie tussen oxidedikte en oxidatietijd is juist wa…Thermische oxidatie Droge oxidatie Natte oxidatie Drive-in Forming-gasanneal Grensvlaktoestanden (interface traps) LOCOS Mobiele ionen Oxidatiegestimuleerde diffusie (OED) Oxynitride (SiON)