Ionen zoals natrium en kalium die zich in het gateoxide kunnen verplaatsen. Ze bewegen onder invloed van elektrisch veld en temperatuur en laten de drempelspanning verschuiven. Ze komen bijvoorbeeld via menselijk zweet binnen en worden daarom streng beheerst.
Japanse benaming: 可動イオン
“Mobiele ionen” komt voor in 3 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Oxidatie en diffusie, Procesmaterialen (gassen, chemicaliën).
Vakgebied: Oxidatie en diffusie
Antwoord: B. Door elektrisch veld en temperatuur verplaatsen de ionen zich en varieert de drempelspanning
Alkalimetaalionen zoals natrium bewegen gemakkelijk door de oxidefilm, en wanneer ze onder invloed van elektrisch veld en temperatuur (bijvoorbeeld ongeveer 200 °C) naar het grensvlak verplaatsen, laten ze als positieve lading de drempelspanning variëren. Dit was de grootste oorzaak van de instabiliteit van MOS-componenten in de jaren zestig, en natrium komt ook via menselijk zweet en gereedschap binnen. Er werden tegenmaatregelen genomen zoals verontreinigingsbeheersing in de cleanroom, chlooroxidatie en vangen met fosfosilicaatglas (PSG), waarmee de MOS-technologie praktisch toepasbaar werd.
Daardoor nemen schommelingen van de drempel door mobiele ionen af en verbeteren betrouwbaarheidskenmerken zoals de diëlektrische doorslagspanning van de oxidefilm.
Wat is het belangrijkste doel van het toevoegen van een kle…Alkalimetaalionen zoals natrium en kalium worden in een oxidelaag onder invloed van een elektrisch veld mobiele ionen en laten de drempelspanning van transistors variëren.
Wat is de belangrijkste reden dat als ontwikkelaar voor hal…Drempelspanning (threshold voltage) Via Thermische oxidatie TMAH Deal-Grove-model Drive-in Droge oxidatie Forming-gasanneal Grensvlaktoestanden (interface traps) LOCOS