Wat is Forming-gasanneal?

Warmtebehandeling in een mengsel van waterstof en stikstof (forming gas). De waterstof passiveert de dangling bonds aan het Si/SiO2-grensvlak en vermindert de grensvlaktoestanden.

Japanse benaming: フォーミングガスアニール

Vakgebied: Oxidatie en diffusie

Verwante termen

Deal-Grove-model Drive-in Droge oxidatie Grensvlaktoestanden (interface traps) LOCOS Mobiele ionen Natte oxidatie Oxidatiegestimuleerde diffusie (OED) Oxynitride (SiON) RTP (rapid thermal processing)

Naar de woordenlijst