Nederlands
Menu

Oxidatie en diffusie

Welke relatie tussen oxidedikte en tijd is juist in het begin van thermische oxidatie (wanneer de oxidefilm nog dun is) volgens het Deal-Grove-model?

  1. ADe dikte is evenredig met de wortel van de tijd
  2. BDe dikte is ongeveer evenredig met de tijd (neemt lineair toe)
  3. CDe dikte is constant, onafhankelijk van de tijd
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. De dikte is ongeveer evenredig met de tijd (neemt lineair toe)

Zolang de oxidefilm dun is, passeert het oxidatiemiddel de film gemakkelijk en wordt de snelheid van de reactie aan het grensvlak bepalend, zodat de dikte ongeveer evenredig met de tijd toeneemt (lineaire wet, snelheidsconstante B/A). Wanneer de film dikker wordt, wordt diffusie van het oxidatiemiddel in de film bepalend en wordt de dikte evenredig met de wortel van de tijd (parabolische wet, snelheidsconstante B). De overgang ligt bij een dikte van ongeveer A/2, bij droge oxidatie bij enkele tientallen nm tot ongeveer 100 nm.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Oxidatie en diffusie

  1. Welke relatie tussen de dikte van het veldoxide dat voor elementisolatie zoals LOCOS wordt gebruikt en de dikte van het gate-oxide van een MOSFET is in het algemeen juist?
  2. Welke algemene definitie van de 'overgangsdiepte' van een pn-overgang is juist?
  3. Hoe heet het verschijnsel waarbij de diffusie van boor en fosfor tijdens het oxideren van silicium sneller is dan wanneer niet wordt geoxideerd?
  4. Welke afwijking van het Deal-Grove-model is bekend bij het maken van dunne oxidefilms van enkele tientallen nm of minder met droge oxidatie?
  5. Hoe heet het verschijnsel waarbij bij LOCOS onder het nitridemasker een dun nitride aan het siliciumoppervlak ontstaat, waardoor het latere gate-oxide plaatselijk dun of defect wordt?

Vergelijkingen bij dit onderwerp