Verschijnsel waarbij boor en fosfor tijdens het oxideren van silicium sneller diffunderen dan zonder oxidatie. De oorzaak is dat bij de oxidatie gevormd interstitieel silicium in het silicium wordt geïnjecteerd.
Japanse benaming: 酸化増速拡散(OED)
“Oxidatiegestimuleerde diffusie (OED)” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Oxidatie en diffusie.
Vakgebied: Oxidatie en diffusie
Antwoord: C. Oxidatieversterkte diffusie (OED)
Naarmate de oxidatie voortschrijdt, wordt overtollig interstitieel silicium van het grensvlak in het silicium geïnjecteerd. Boor en fosfor diffunderen gemakkelijk in combinatie met interstitieel silicium, dus tijdens oxidatie is de diffusie enkele malen sneller (oxidatieversterkte diffusie, OED). Antimoon daarentegen diffundeert voornamelijk via vacatures, dus als het interstitieel silicium toeneemt, nemen de vacatures af en wordt het trager (oxidatieonderdrukte diffusie). Dit verschil was ook een aanwijzing voor het onderzoek naar diffusiemechanismen.
Boor en fosfor diffunderen gemakkelijk in combinatie met interstitieel silicium, dus tijdens oxidatie is de diffusie enkele malen sneller (oxidatieversterkte diffusie, OED).
Hoe heet het verschijnsel waarbij de diffusie van boor en f…Via Deal-Grove-model Drive-in Droge oxidatie Forming-gasanneal Grensvlaktoestanden (interface traps) LOCOS Mobiele ionen Natte oxidatie Oxynitride (SiON)