Was ist Deal-Grove-Modell?

Modell der thermischen Oxidation, bei dem das Oxidationsmittel durch das Oxid diffundiert und an der Si/SiO2-Grenzfläche mit Silizium reagiert. Die Dicke wächst bei dünnen Oxiden linear mit der Zeit, bei dicken mit der Wurzel der Zeit.

Japanische Bezeichnung: Deal-Groveモデル

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion