Qu'est-ce que NBTI ?
Dégradation par laquelle la valeur absolue de la tension de seuil d'un pMOS augmente progressivement lorsqu'une tension négative est appliquée sur sa grille à haute température.
Nom japonais: NBTI
« NBTI » apparaît dans 5 questions d'entraînement réparties sur 2 thèmes, dont Fiabilité, MOSFET.
Domaine: Fiabilité
Comment le NBTI dégrade un transistor pMOS
Le NBTI (negative bias temperature instability, instabilité en température sous polarisation négative) apparaît lorsque la grille d'un pMOS est maintenue à un potentiel négatif par rapport à son canal, de sorte que le canal est en inversion de trous, à température élevée. Les trous à l'interface Si/SiO2 favorisent la rupture des liaisons Si–H laissées par la passivation à l'hydrogène, ce qui crée des pièges d'interface, tandis qu'une charge positive s'accumule aussi dans le diélectrique de grille. Ces deux effets rendent la tension de seuil plus négative, si bien que sa valeur absolue augmente, et le courant de conduction ainsi que la transconductance diminuent. Aucun courant de drain n'est nécessaire : un pMOS dont la grille est simplement au niveau bas et la source à VDD subit déjà un stress NBTI.
Une dérive lente avec récupération partielle
Le décalage dû au NBTI croît dans le temps à peu près selon une loi de puissance de faible exposant : l'essentiel de la variation apparaît tôt, puis se poursuit lentement au fil des années de fonctionnement. Lorsque le stress cesse, une partie du décalage se résorbe, dès quelques microsecondes, car une partie des charges piégées s'échappe. La mesure en devient délicate, puisqu'une mesure lente après stress sous-estime la dégradation, et cela explique pourquoi un stress alternatif, où la grille commute, dégrade moins le composant qu'un stress continu. L'azote ajouté aux oxydes de grille pour bloquer la pénétration du bore est connu pour aggraver le NBTI.
Questions fréquentes
Que signifie NBTI ?
NBTI signifie negative bias temperature instability (instabilité en température sous polarisation négative), un mécanisme d'usure dans lequel un transistor pMOS soumis à une polarisation de grille négative et à une température élevée voit progressivement augmenter la valeur absolue de sa tension de seuil.
Quelle est la différence entre le NBTI et l'injection de porteurs chauds ?
Le NBTI est causé par le champ vertical de grille et la température, et se produit même sans courant, principalement dans les pMOS. L'injection de porteurs chauds nécessite un courant et un fort champ latéral près du drain, où des porteurs de haute énergie endommagent le diélectrique de grille ou l'interface.
La dégradation due au NBTI est-elle réversible ?
En partie. Lorsque la polarisation négative de grille est supprimée, une partie du décalage de seuil se relâche rapidement, mais une composante permanente subsiste et s'accumule sur la durée de vie du composant.