什麼是暫態增強擴散(TED)

離子佈植後退火的初期，因佈植產生過量的間隙矽，使硼等的擴散暫時變快的現象。會妨礙淺接面的形成。

日文名稱: 過渡増速拡散(TED)

這個名詞所屬的領域: 離子佈植

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