被佈植的離子撞出矽原子時，在晶體中形成的空缺與晶格間原子的組合，稱為什麼？

正確答案：A. 弗倫克爾對（Frenkel pair）

被佈植的離子撞擊矽原子後，原子會自原本的位置被撞出而成為晶格間原子，原位置則留下空缺。這個組合就是弗倫克爾對，一個離子有時會產生數百～數千個弗倫克爾對。劑量大時，損傷重疊而形成非晶層。退火時大部分會復合而恢復，但殘留的晶格間矽會成為暫態增強擴散與EOR缺陷的原因。

• A. 正確。是空缺與晶格間原子的組合。
• B. 庫柏對是超導體中電子成對的現象。
• C. 電子電洞對是由光等產生的載子對。