過渡増速拡散(TED)란?
かとぞうそくかくさん
イオン注入後のアニールの初期に、注入で生じた過剰な格子間シリコンのため、ボロンなどの拡散が一時的に速くなる現象。浅い接合をつくる妨げになる。
일본어 명칭: 過渡増速拡散(TED)
분야: 이온 주입
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固溶度 投影飛程 アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ
かとぞうそくかくさん
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固溶度 投影飛程 アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ