離子穿過晶體原子排列的縫隙，進入比預期更深處的現象。可藉由傾斜晶圓進行佈植等方式來防止。
日文名稱: チャネリング
這個名詞所屬的領域: 離子佈植
尖峰退火 佈植劑量 投影射程 固溶度 法拉第杯 退火 逆向摻雜井 暈環佈植(口袋佈植) 雷射退火 電漿摻雜
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