ピエゾ抵抗効果란?

ぴえぞていこうこうか

機械的な応力が加わると、材料の電気抵抗率が変化する効果。シリコンでは特に大きく、半導体圧力センサなどに利用される。

일본어 명칭: ピエゾ抵抗効果

분야: MEMS와 센서