ナノインプリントリソグラフィとは
なのいんぷりんとりそぐらふぃ
微細なパターンをもつ型(モールド)をウエハ上のレジストに押し付け、パターンを転写する技術。高価な光学系を使わずに微細なパターンをつくれる。
この用語の分野: リソグラフィ
解説の中の「ナノインプリントリソグラフィ」
ナノインプリントリソグラフィは、凹凸のパターンをもつ型(テンプレート)をウエハ上の液状のレジストに押し当て、紫外線で固めてから型を離して形を写し取る技術です。
微細なパターンをもつ型(モールド)をレジストに押し付けて、パターンを転写する技術を何と呼ぶか。
「ナノインプリントリソグラフィ」が出てくる問題(1問)
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