微影 將帶有微細圖案的模具（mold）壓在光阻上，藉此轉印圖案的技術稱為什麼？ A電子束微影 BEUV曝光 C奈米壓印微影 查看答案與解析 正確答案：C. 奈米壓印微影 奈米壓印微影是將帶有凹凸圖案的模具（模板）壓在晶圓上液態的光阻上，以紫外線使其固化後再脫模，藉此複製形狀的技術。它沒有光繞射的極限，可轉印10 nm級的圖案，且不需要昂貴的光學系統，因此能壓低機台的成本與用電量。佳能（Canon）開發了量產機台，並推動其在3D NAND等產品的實用化，但缺陷的抑制與疊對仍是課題。