ナノインプリントリソグラフィ란?

なのいんぷりんとりそぐらふぃ

微細なパターンをもつ型(モールド)をウエハ上のレジストに押し付け、パターンを転写する技術。高価な光学系を使わずに微細なパターンをつくれる。

일본어 명칭: ナノインプリントリソグラフィ

분야: 포토리소그래피