可動イオン란?
かどういおん
ゲート酸化膜の中を移動できるナトリウムやカリウムなどのイオン。電界や温度によって移動し、しきい値電圧を変動させる。人の汗などから混入するため厳しく管理される。
일본어 명칭: 可動イオン
분야: 산화와 확산
かどういおん
ゲート酸化膜の中を移動できるナトリウムやカリウムなどのイオン。電界や温度によって移動し、しきい値電圧を変動させる。人の汗などから混入するため厳しく管理される。
일본어 명칭: 可動イオン
분야: 산화와 확산
界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化