若閘極氧化層中含有鈉離子等可動離子，會發生什麼問題？

正確答案：B. 離子因電場或溫度而移動，使臨界電壓變動

鈉等鹼金屬離子在氧化層中容易移動，若因電場或溫度（例如 200 ℃ 左右）而移動到介面附近，便會以正電荷的形式使臨界電壓變動。這是 1960 年代 MOS 元件不穩定的最大原因，連人的汗水與器具都可能帶入。藉由無塵室的汙染管理、氯氧化、以磷矽玻璃（PSG）捕捉等對策，MOS 技術才得以實用化。