什麼是CMP侵蝕

CMP時，導線密集排列的整個區域連同絕緣膜被過度研磨，而比周圍更低的現象。與寬幅導線凹陷的碟形凹陷並列為代表性的不良。

日文名稱: エロージョン

這個名詞所屬的領域: CMP與清洗