エロージョン란?

えろーじょん

CMPで、配線が密に並んだ領域全体が、絶縁膜ごと周囲より過剰に研磨されて低くなる現象。幅の広い配線がくぼむディッシングと並ぶ代表的な不良。

일본어 명칭: エロージョン

분야: CMP와 세정