領域選択成膜とは
りょういきせんたくせいまく
下地の材料の違いを利用して、特定の場所だけに膜を成長させる技術。リソグラフィやエッチングの工程を減らせるため、先端の配線などで研究・導入が進んでいる。
この用語の分野: 成膜(CVD・PVD)
解説の中の「領域選択成膜」
領域選択成膜は、金属の上には成膜し絶縁膜の上には成膜しない、といったように、下地の材料による反応のしやすさの違いを利用して必要な場所だけに膜をつくる技術です。
表面の材料の違いを利用して、特定の場所だけに膜を成長させる技術はどれか。
「領域選択成膜」が出てくる問題(1問)
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