利用表面材料的差異，只讓薄膜在特定位置成長的技術為下列何者？

正確答案：C. 區域選擇性沉積（area-selective deposition）

區域選擇性沉積是利用底層材料造成反應難易度的差異，例如在金屬上成膜、在絕緣膜上不成膜，僅在需要的位置形成薄膜的技術。也有以自組裝單分子層（SAM）等覆蓋不想成膜的表面以防止反應的方法。可減少微影與蝕刻的步驟，也沒有對準偏移，因此正研究其在微細配線等的應用。