磊晶成長

當基板與成長膜的晶格常數差異(晶格不匹配)很大時,容易發生下列何種問題?

  1. A產生失配差排等晶體缺陷
  2. B膜一定會變成非晶質
  3. C成長速率變為0
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正確答案:A. 產生失配差排等晶體缺陷

成長晶格常數不同的材料時,膜會配合基板而收縮或伸長,使應變累積,超過臨界膜厚後,為了釋放應變,界面上會產生失配差排。其中一部分會成為貫穿膜層的貫穿差排,導致漏電流、發光效率下降及壽命縮短。對策包括逐漸改變組成的緩衝層、使差排彎曲的超晶格,以及選擇性成長等。

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