첨단 패키징(3D와 칩렛)

TSV(실리콘 관통 전극)에 대한 설명으로 올바른 것은?

  1. A칩 표면에만 형성하는 가로 방향 배선
  2. B실리콘 기판을 두께 방향으로 관통하는 전극으로, 적층한 칩끼리를 위아래로 연결한다
  3. C패키지의 외부 단자로 사용하는 솔더 볼
정답과 해설 보기

정답: B. 실리콘 기판을 두께 방향으로 관통하는 전극으로, 적층한 칩끼리를 위아래로 연결한다

TSV(Through-Silicon Via)는 실리콘 기판에 직경 수 µm~십수 µm의 구멍을 뚫고 도체를 채워 기판의 앞면과 뒷면을 전기적으로 연결하는 전극입니다. 칩을 쌓아 올려 와이어 본딩보다 짧은 거리에서 수천 개 이상의 연결을 만들 수 있어 3D 실장, HBM, 실리콘 인터포저에 사용됩니다. 표면에만 있는 가로 방향 배선은 일반적인 다층 배선이고, 솔더 볼은 외부 단자입니다.

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