先進技術(3D構裝與小晶片)
下列關於混合接合(hybrid bonding)的說明,何者正確?
- A加大焊錫凸塊以提高連接可靠度的技術
- B每次使用兩條導線進行連接的技術
- C不使用凸塊,將銅電極與絕緣膜的表面直接接合,以極高密度連接的技術
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正確答案:C. 不使用凸塊,將銅電極與絕緣膜的表面直接接合,以極高密度連接的技術
混合接合是以CMP將晶片或晶圓表面平坦化後,同時將銅電極之間與絕緣膜之間直接接合的技術。由於不使用焊錫凸塊,連接間距可縮小到10 µm以下,甚至數µm左右,每1 mm²的連接數可增加好幾個數量級。已在堆疊式影像感測器上實用化,應用於處理器與快取的堆疊以及HBM的進展也持續推進。