シリコンウエハ

CZ法でp型のシリコン結晶をつくるとき、融液に添加する代表的な不純物はどれか。

  1. Aリン(P)
  2. Bヒ素(As)
  3. Cホウ素(B)
答えと解説を見る

正解：C. ホウ素(B)

p型にするには、III族元素のホウ素を添加します。n型にする場合は、リン、ヒ素、アンチモンなどのV族元素を使います。結晶の抵抗率は、添加する不純物の量で決まります。

この分野を解く 分野ページへ

シリコンウエハのほかの問題

  1. CZ法で不純物を添加した結晶を引き上げると、結晶の下部(引き上げの後半)ほど不純物濃度が高くなる傾向がある。その理由として正しいものはどれか。
  2. 300 mmの次の口径として開発が進められた450 mmウエハについての説明として適切なものはどれか。
  3. CZウエハの内部で、酸素が析出してできる微小な欠陥(BMD)を利用する目的として正しいものはどれか。
  4. ウエハを熱処理して表面付近の酸素を外に拡散させ、デバイスをつくる表面に欠陥の少ない層をつくる。この層を何と呼ぶか。
  5. ウエハの表面や裏面に刻むレーザーマーク(IDマーク)の目的はどれか。