偏析係数란?

へんせきけいすう

融液から結晶が固まるとき、結晶中と融液中の不純物濃度の比。多くの不純物は1より小さいため融液に濃縮され、CZ結晶の後半ほど不純物濃度が高くなる。

일본어 명칭: 偏析係数

분야: 실리콘 웨이퍼