MEMS・センサ
半導体圧力センサなどに利用されるピエゾ抵抗効果の説明として正しいものはどれか。
- A機械的な応力が加わると、材料の電気抵抗率が変化する効果
- B光を当てると電圧が生じる効果
- C磁界によって電流の向きが曲げられる効果
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正解:A. 機械的な応力が加わると、材料の電気抵抗率が変化する効果
シリコンは、応力が加わると抵抗率が大きく変化するピエゾ抵抗効果を示します。圧力を受けて変形する薄い膜(ダイヤフラム)に抵抗をつくり込み、その抵抗変化をブリッジ回路で検出することで、圧力を電気信号に変換できます。