MOS構造の酸化膜とその界面にある電荷の種類の組み合わせとして、一般的に分類されるものはどれか。

正解：A. 固定電荷・可動イオン電荷・酸化膜トラップ電荷・界面トラップ電荷

酸化膜まわりの電荷は、界面近くにある固定電荷、ナトリウムなどの可動イオン電荷、膜中の欠陥に捕らえられた酸化膜トラップ電荷、界面の準位による界面トラップ電荷の4つに分類されます。いずれもフラットバンド電圧やしきい値電圧をずらす原因になります。

• A. 正しい。4種類に分類されます。
• B. このような分類は使われません。
• C. このような分類は使われません。