ゲート酸化膜中にナトリウムイオンなどの可動イオンが含まれると起こる問題として正しいものはどれか。

正解：B. 電界や温度によってイオンが移動し、しきい値電圧が変動する

ナトリウムなどのアルカリ金属イオンは酸化膜中を動きやすく、電界や温度によって界面付近に移動すると、しきい値電圧を変動させます。MOSデバイスの初期の大きな問題で、クリーンルームでの汚染管理や塩素酸化、リンガラスによる捕獲などで対策されてきました。