半導体の現像液に、水酸化ナトリウムなどではなくTMAHのような有機アルカリが使われる主な理由はどれか。

正解：C. ナトリウムなどの金属イオンによる汚染を避けるため

ナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属イオンは、酸化膜中を動いてトランジスタのしきい値電圧を変動させるなど、デバイスに悪影響を与えます。TMAHは金属を含まない有機アルカリなので、金属汚染の心配がなく、半導体用の現像液として使われています。