酸化・拡散

熱酸化の際に、塩化水素(HCl)などの塩素を含むガスを少量加える主な目的はどれか。

  1. A酸化膜を導電性にするため
  2. B酸化速度を0にするため
  3. Cナトリウムなどの可動イオンや金属汚染の影響を抑えるため
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正解：C. ナトリウムなどの可動イオンや金属汚染の影響を抑えるため

塩素を含む雰囲気で酸化すると、ナトリウムなどの可動イオンや金属汚染が塩化物として取り除かれたり、酸化膜中で不活性化されたりします。その結果、酸化膜の電気的な特性や信頼性が向上します。

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